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石墨熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)制造是什么？

jcshimo | 2023-08-26 14:58:06

直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也就是所謂的熱場(chǎng)，石墨熱場(chǎng)系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在必定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。
石墨熱場(chǎng)一般包含（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。
單晶爐石墨熱場(chǎng)簡(jiǎn)略的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。常見的是18寸、22寸和24寸的石墨熱場(chǎng)。一種盛行的石墨熱場(chǎng)職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)劃規(guī)劃方案是選用石墨材料制造熱場(chǎng)隔熱部件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨保溫材料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維材料組成，在接近熱場(chǎng)中心的內(nèi)表面往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合材料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。
因?yàn)榈褥o壓石墨熱場(chǎng)材料自身所具有的多孔性和可滲透性，各層隔熱材料之間不需求預(yù)留額定的空間。石墨材料具有優(yōu)異的隔熱性能，本錢一般較金屬屏低，而且十分易于使用。就制造本錢，耐用性和可維護(hù)性而言，石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有必定的優(yōu)勢(shì)。經(jīng)過生產(chǎn)實(shí)踐，金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
石墨熱場(chǎng)廠家用石墨材料制造石墨熱場(chǎng)的隔熱部件，實(shí)踐證明，雖然在釬焊工藝中會(huì)有許多焊料沉積在石墨隔熱材料的表面，但是卻不會(huì)產(chǎn)生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會(huì)質(zhì)疑，以為石墨材料比金屬材料更簡(jiǎn)略吸收水分，水分對(duì)釬焊工藝進(jìn)程危害很大，但是，實(shí)踐證明熱場(chǎng)循環(huán)往復(fù)的升溫與降溫會(huì)很好地排除石墨隔熱材猜中的水分。
石墨熱場(chǎng)的特性如下：
一.單晶硅石墨熱場(chǎng)，是一個(gè)及物理，化學(xué)，幾何歸納理論為一體，專門研究人員經(jīng)過多年重復(fù)考證。多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)擬定。
二.熱場(chǎng)選用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤，保溫罩，上下蓋。選用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器，坩堝，導(dǎo)流筒，托桿，鍋托等，保證了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。
三.熱場(chǎng)是單晶硅成晶的重要條件之一，熱場(chǎng)的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶，以及拉制單晶的質(zhì)量好壞，其質(zhì)料好壞直接影響熱場(chǎng)壽命。